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電子行業(yè)有機(jī)廢氣處理的方法
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編輯:廢氣處理 瀏覽:1395 時(shí)間:2012-12-26
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電子行業(yè)個使用的絕緣材料、溶劑、清洗劑、處影劑、光刻膠、蝕刻液等中:有大量有機(jī)物成分。在下藝過種中,這些侖機(jī)溶劑人邪分通過揮發(fā)成為廢氣排放。目的,針對這種氣體排放,一般采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。 1、吸附法 吸附是利用多扎件固體吸附劑處理混合氣體,使其小所含的一種觀多種組分吸附于出體表面上,達(dá)到分離的目的。吸附劑選擇性高,能分開其他過程難以分開的混合物.有效地清除(或回收)濃度很低的有害物質(zhì),凈化效率高,設(shè)備簡單,操作力使,且能實(shí)現(xiàn)自動控制。但固體吸附劑的吸附容量小,需要大量的吸附劑,設(shè)備廢大,且吸附后吸附劑需要再生處理,是吸附處理的豐要缺點(diǎn)。生產(chǎn)場所揮發(fā)出來的有機(jī)廢氣通過局部排風(fēng)罩收集,經(jīng)管道送至吸附凈化系統(tǒng)。一般采用活件炭作為吸附劑,因?yàn)榛钚蕴渴欠菢O性吸附劑,對廢氣小水蒸氣的靈敏廢人高,且價(jià)格便宜。 2、焚燒法 焚燒達(dá)是指說過熱堿化將有機(jī)物轉(zhuǎn)化為CO2和水。同時(shí),焚燒對處理穩(wěn)定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法。在熱氧化中,有機(jī)廢氣流經(jīng)過加熱,氣相中的有機(jī)物被氧化。為節(jié)省燃料使用,通常還使用熱交換器,回收焚燒產(chǎn)生的熱量對進(jìn)口氣體進(jìn)行預(yù)熱。對于處別人流量、低濃度的氣體,通常都要采用這種方法。采用直燃式焚燒爐或蓄熱式焚燒爐對有機(jī)廢氣進(jìn)行燃燒處理,有機(jī)廢氣大除效率可達(dá)98%以上。但能耗高,投資大,易氧化空氣中的N2, 3、沸石濃縮轉(zhuǎn)輪再生法 也有一些生產(chǎn)家使用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪再個的方法處理有機(jī)廢氣,即用熱空氣加熱將有機(jī)物從沸石濃縮轉(zhuǎn)輪上脫附解吸出來.脫附下來的有機(jī)物己被濃縮成濃有機(jī)廢氣,進(jìn)人燃燒器燃燒去除。有機(jī)廢氣處理設(shè)備的凈化效率大丁90%。含有有機(jī)廢氣的排風(fēng)經(jīng)轉(zhuǎn)輪吸附裝置吸附后,其中的行機(jī)廢氣的濃度達(dá)到徘放標(biāo)準(zhǔn),可排入大氣。濃廢氣燃燒處理裝置的燃料為天然氣。
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